高科技高污染？──揭開半導體污染防治的面紗

文‧陳妙鈴　圖‧卜華志

1998 9月

這杯水剛從新竹科學園區汙水處理廠的放流水站舀起，經過專業處理，已符合放流水排放標準。高科技、零汙染是打造綠色科技島的原景。（卜華志）

新竹當地的環保人士提出各項數據，指控科學圓區的汙水處理不當，並具狀向地方法院按鈴申告。（卜華志）

儘管經濟大環境經歷二年多來的不景氣，半導體業仍是台灣成長最快的產業，在提昇科技水準、產業升級，發展台灣成為「科技島」、「矽島」的大方向下，半導體已然成為台灣產業的火車頭。

七月二日，放流水站的馬達跳電，水就從這條第十三號雨水溝排放到園區外，引發這一波環保爭議。（卜華志）

就在此時，台灣半導體業的大本營──新竹科學園區，近來卻因污水問題遭環保團體控告。隔著專業知識的鴻溝，民眾心中的疑惑一日日加深──高科技會造成高污染？

七月二日晚上，科學園區污水處理廠巡邏員按照往例，每隔二個小時巡視一趟全場。就在接近放流水站時，突然發現抽水馬達因為壓力過載已經跳機，水流正大量地順著第十三號雨水溝向一牆之隔的園區外汩汩排出。

巡邏員立即重新啟動馬達，水勢緩了下來，不過一牆之外的居民著實嚇一大跳：「科學園區利用晚上偷排廢水？」

由於這已不是第一次發現園區流出不明排放水，甚至有些排放水最後匯流到農業灌溉溝渠，附近居民不免擔心，以高科技產業嚴控污染著稱的科學園區也會有污染的問題，而且就在自家門口？

高科技，高污染？

十二年前，「新竹市公害防治協會」因為對抗李長榮化工廠而成立，十二年後，李長榮雖早已遷廠，新竹人卻也因此對生活環境有很高的敏感度，嚴格關注著科學園區的污染防治。

特別是和科學園區同樣屬於高科技產業聚集地的美國矽谷，經常被環保人士拿來做為反證。早在大約二十年前，矽谷地區的地下水和土壤就被發現遭有害廢棄物污染，後來發現是廠商的地下儲存槽洩漏，直到現在矽谷地區仍有二十九個被美國環保署列管的污染場址。

台灣環境保護聯盟執行委員施信民認為，半導體業一旦造成傷害，污染情況不會比傳統石化業或紡織業低。

特別是近來在桃園及竹北陸續發現「美國無線電公司」舊廠址地下水遭三氯乙烯污染，而抴X二十年前包括美國無線電公司在內的電子電器用品業在台設廠大受歡迎，揭發此案的環境品質文教基金會秘書長劉銘龍說，過去的污染來自於可見的煙囪，但是現在的危機卻是看不見的，社會大眾不得不更加小心而對目前集「三千寵愛於一身」的半導體廠商特別挑剔。

科技新貴半導體

科學園區在新竹落地生根將近十八年，隨著台灣高科技產業蓬勃發展，目前已有二百多家廠商進駐，包括通訊、光電、電腦及周邊設備、精密機械、生物技術、半導體等六大產業在內，半導體產業就佔了近百家。

潔淨的廠區，密閉式的廠房，少了吐黑煙的煙囪以及川流不息的重型車輛，頂著高科技的光環，「儘管對廠商不了解也接觸不到，園區當初仍很受居民歡迎，」「新竹市公害防治協會」創始會員，也是在新竹土生土長的國大代表鍾淑姬說。

事實上，園區內半導體，除了純研發廠商外，有生產製程的半導體廠商佔三、四成。從上游的晶圓切片、打磨，中游的拉晶、切片、蝕刻等積體電路製程，到下游的晶圓切割、導線電鍍等晶片封裝製程，由於產品類型和規格多樣，因此製程中產生的污物相當多且複雜。其中利用氫氟酸、硝酸等溶液進行濕式化學蝕刻，以及使用大量超純水清洗晶圓、晶片，都會產生許多酸鹼廢水及含氟廢水需要處理。

承包園區污水處理工作的「中欣工程行」公司環境工程部副理張芳淑就指出，園區裡所有廠商產生的廢水都必須排到污水處理廠，經過進一步處理再統一排放，而其中有八成來自半導體業。

這幾次科學園區的受到指責，就多半出自廢水問題。

廢水到哪裡去了？

鍾淑姬指出，去年怳賱﹛A園區雨水溝也曾排放不明廢水到附近的灌溉溝渠隆恩圳，甚至乾旱季節園區的雨水溝排放口還有水排出。「生態保育聯盟」總召集人林聖崇也質疑，每日進去園區的自來水量與出來的廢水量應該差不多，但是他們由周邊自來水廠調查後得到的數字卻差很多，讓他不得不懷疑水的去處。

雖然七月的排放水事件園區管理局事後證實溢流出去的水經過污水處理、合乎環保署訂定的放流水標準，但是污水處理廠因為出事未立即通知當地環保單位，被開了一張三十萬元的罰單，新竹市當地的環保團體也持續向科學園區管理局施壓，希望管理局能夠負責，最後還一狀告到法院。

影響所及，最近光是園區的污水處理廠，早上有環保署的督察大隊突擊檢查，中午有媒體記者到訪，下午又有大批省環保處人員前來視察，污水廠成員應接不暇。

對園區遭到排放廢水的指責，管理局也有委屈。原本園區在排放許可證上被允許排放經過處理的廢水最大量是每日二萬八千二百噸，但去年怴B十一月景氣大好，園區污水量急速增加，甚至衝上七萬二千噸的新高點，目前每日平均的排放量約達五萬三千噸。

按照規定，當排放量超過許可量一成，就必須報備申請變更排放許可證，但是申請許可期間長達半年，污水量又急速爆增，無可避免地出現許可證記載與實際不符的空窗期。承辦此項業務的管理局助理研究員蘇月娥指出，發生登載量與事實不符的空窗期，是申請變更時一定會遇到的問題，污水處理廠並無違法。

滴水不漏

事實上，在環保法令與各種污染物質排放標準越來越嚴格下，相較於過去石化、紡織、鋼鐵等高污染產業造成圍廠、抗爭等等事件，產業的後起之秀半導體業者設廠時，總少不了一套污染防治設備。

由於半導體產品良率要求極高，整套製程必須在造價高昂、恆溫、恆溼的無塵室中進行，每一個步驟、每一條管線都在設計當中，廢氣廢水的排放自然也在嚴格控管之列，否則，任何一點閃失，都會造成嚴重損失。

由於半導體廠用水量實在太大，幾乎所有廠商都會回收處理再利用。以力晶半導體為例，廢水回收率高達八成，也就是說，每一百噸用水，力晶可以從製程中省出八抩楚A其他二抩楔~是取自於自來水。「從廠商的角度出發，這很單純就是生意，」力晶半導體環保課課長李谷蘭說。

至於清洗晶片的含氟廢水用到無法再回收的地步之後，廠商也在自己的污水處理池以石灰或是氯化鈣，沈澱出氟化鈣污泥，這些污泥會交由專業的處理業者清運，水則排到園區污水處理廠。

張芳淑分析廠商廢水中的懸浮固體物、化學需氧量等數據指出，園區多數半導體大廠排放出的廢水，除了符合園區污水處理廠進廠標準，甚至有些項目已達到目前中央公告、最嚴格的污水排放標準──八十七年放流水標準。

今年初，管理局更和廠商簽定了「環保約定書」，約定管理局可以對廠商處以記點或封管的處分。只要被記點，開工和增資都將延後三個月，這對競爭激烈的半導體業打擊很大，目前已有幾家廠商遭受處罰。

廢氣處理

除了近來引起軒然大波的廢水問題，在半導體製程中產生的廢氣，也設有管路收集。

目前大部分的廠商是以洗滌塔與活性碳過濾廢氣，再排放到大氣中，少數廠商則已設置沸石濃縮轉輪設備，也就是在燃燒和吸附的過程中，將廢氣中的有毒物質濾出燒掉。雖然沸石轉輪設備非常昂貴，但是李谷蘭認為，在半導體廠動輒數百多億元的設廠經費中，這幾千萬的經費所佔比例不高，環保的要求標準卻愈來愈高，未來，這類污染防治設備勢必愈來愈普及。

為了預防像矽谷一樣的地下儲存槽洩漏的危險，目前園區內的許多廠商已將桶槽地上化，同時在桶槽設施四周加蓋一堵矮牆，使溶劑不致於悄悄地洩漏，就算洩漏還有一堵牆擋著。至於廠內的管路也外露在牆面，一旦洩漏，工作人員能夠立刻搶修。

世界先進積體電路風險管理部經理范光榮指出，半導體業使用的氣體和化學溶劑濃度都很高，一旦外洩，員工首當其衝，因此范光榮強調：「環保和工業安全衛生對業者來說，其實就是一體的兩面。」

員工首當其衝

以業者最常用來蝕刻、被環保人士稱為化骨水的氫氟酸為例，廠商多半以石灰與氯化鈣中的鈣離子去中和含有氫氟酸的清洗廢水，產生氟化鈣沈澱物。這類化學反應若是發生在人體上，中國技術服務社工業污染防治中心工程師謝振瑋說，骨骼中的鈣質都會被溶解得只剩下膠質。因此半導體業者對於任何溶劑都非常小心儲存，因為一旦洩漏不但污染環境，也危害人體安全。而工業安全衛生一旦發生問題，業者的損失難以估量，自然誰也不敢對此掉以輕心。

去年怳諈瑭p瑞大火就是一個工安問題造成廠商損失的例子。聯瑞在此次大火中估計損失逾百億，經過保險的風險分擔之後，雖然只付出數億元，但是范光榮說，營運中斷、客戶流失、員工向心力減弱等，都是無形的損失，再加上園區的形象也因此受到影響。

「這就是所謂的『冰山理論』，看得見的損失可能只有二成，海面下的卻高達八成，」同時也是園區同業公會環保委員會召集人的范光榮說。

這些有形的、無形的損失，換來的是一次血淋淋的教訓。「當天幾乎園區所有半導體廠商都緊急出動支援，各廠的安全計劃也因此得到驗證的機會，」范光榮說。

首先是電源和所有氣體及化學品必須即刻停止供應；消防水在流入雨水溝前就先截流，抽到污水處理池；火場內一些管線中殘留的溶劑也一一收集，報廢的廠房設備則委託合格處理業者代處理。唯一的瑕疵是塑料設備與溶劑經燃燒過後產生的廢氣，由於收集困難，只有任其排放到大氣中。

層層把關

這場大火除了燒壞了廠房，也燒掉了一大半民眾對號稱「高科技」的半導體產業的信心。鍾淑姬就認為：「連保護廠房資產的工安衛都做不好，怎麼可能做好污染防治設施，去保護與自身利益無關的環境？」

因此新竹當地環保團體不得不進一步對園區緊迫盯人。去年十一月初，一家廠商將空調用水經雨水溝排放，也曾引起偷排之議。園區管理局營建組科長黃余昌指出，半導體廠房必須恆溫恆溼，空調用水量非常大。過去，除了空調用水中的冷卻用水並沒有限制排入污水處理廠，現在未免外界疑慮也一律規定納入污水處理系統。

為了確實掌握園區的污水去向，中欣工程行從八月一日起，除了持續五年來對有製程的廠商進行採樣檢測，還增加對環境、人員、設備、流程的稽核，其中又以佔園區總污水量八成的抴X家大廠為稽核重點。

除此之外，中欣工程行已在污水排放管路設置六處截點，安裝自動採樣器，只要一發現異樣，立即清查在此截點上游的廠商；在全區十一個雨水溝加裝自動採樣器，只要截取到異樣水質即立刻追查。

至於環保團體擔心排放水是否會影響、污染地下水水質，負責規劃園區地下水監測井的交通大學環境工程研究所教授葉弘德說，目前全園區的監測井共有十八口，最深達三怳膜堨H下。園區並委託學術單位定時採樣分析地下水，根據五年多來的觀測所得：地下水中含有少量重金屬。不過葉弘德指出，竹東地區火成岩，含有多種重金屬，園區地層是否受它或其他因素影響，有待查證。至於有機污染物目前尚未發現，監測工作會持續進行。

對於傳聞廠商可能將廢水偷打到地下，葉弘德認為，這樣做除了所費不貲，也很容易被監測井抓到，可能性較偷偷排放至下水道為低。

除此之外，管理局會依照各家廠商的自來水量而不是廢水量收取污水處理費，因此，張芳淑認為：「錢都已經交了，廠商實在沒必要偷排。」

有意識、沒知識？

環保科技日新月異，對於科學園區面臨的污染議題，葉弘德提醒說，可能造成污染的原因很多，像是污水管線或處理槽破裂洩漏，因此仍需保持嚴謹的態度。他指出：「新廠的問題比較小，倒是已成立十多年的老廠要多注意。」

綠黨高成炎也認為，相較於其他產業，園區裡的許多廠商在環保上或許表現不差，但仍不排除有少數廠商會出紕漏，為了喚起政府和社會的重視，無法對特定廠商監視的環保團體也只好祭出強烈手段，不惜讓好廠商一起陪葬，目的只希望盡量朝零缺點努力。

排放水事件讓環保團體雖然憂心忡忡，卻因為園區資訊不夠開放，所知有限，即使身為台大化學系教授，施信民也無奈地說，環保團體常因為不瞭解業者內部運作，被譏為「有環保意識、沒環保知識」。

事實上，環保工作發生問題，最大的輸家還是廠商本身。以去年怳蹅p瑞發生的火災事件為例，影響所及，連國際間的保險業者都對台灣半導體業的案子重新評估，不是不再接受台灣半導體保戶，就是提高保費費率。

同樣的，產品製程的環保與否才能決定未來的輸贏。李谷蘭明白地說，從廠商現況來分析，國內法規只是第一關，其實業者最大的稽查壓力還是來自全球的客戶，面對的是全球的環保法規。

不論新廠舊廠，面對外界的壓力，范光榮說，國內的半導體業者最基本的還是先符合國內法規，否則連設廠都設不成，進一步再考量廠房的工安衛問題，其次是國際上的環保趨勢，最後會考量公司成本，選擇最符合效益的作法。

環保之路沒有終點

在全球的環保潮流下，不論國際市場、政府還是環保團體，都朝向同一個目標前進中。從這次事件看來，到目前為止，雖然目標一致，認知卻仍有差距。

或許當產業界多向「零污染」的目標邁進一步，對大眾多釋出一點相關訊息，環保團體凌厲的批判作風也會逐漸軟化，雙方的互動才有可能轉型為更正面積極的方式。